納米計(jì)量技術(shù)及分子測(cè)量機(jī)

隨著科技的發(fā)展，微電子學(xué)、材料學(xué)、精密機(jī)械學(xué)、生命科學(xué)和生物學(xué)的研究已深入到原子領(lǐng)域。為適應(yīng)這一發(fā)展，迫切需要具有計(jì)量意義的納米、亞納米精度測(cè)量系統(tǒng)，因此，從上世紀(jì)八十年代開(kāi)始，逐步誕生了一門(mén)嶄新的學(xué)科――納米計(jì)量學(xué)。

1982年，IBM蘇黎世研究實(shí)驗(yàn)室的德國(guó)物理學(xué)家賓尼希和瑞士物理學(xué)家羅雷爾設(shè)計(jì)了世界上第一臺(tái)掃描隧道顯微鏡(STM)，并于1986年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。STM的原理利用了物理學(xué)上的隧道效應(yīng)及隧道電流，它用一個(gè)極細(xì)的探針(針尖為單個(gè)原子)接近試件表面，并在探針與試件之間施加偏壓，當(dāng)兩者接近到納米級(jí)距離時(shí)即產(chǎn)生隧道電流，其大小與距離成反比。STM在計(jì)量中有兩種應(yīng)用方法：一種是通過(guò)反饋保持隧道電流為定值，用于檢測(cè)試件表面形貌;另一種是通過(guò)測(cè)量隧道電流的大小來(lái)表征探針與試件間的距離。

繼掃描隧道顯微鏡之后，相繼出現(xiàn)了一系列測(cè)量尺度可達(dá)到原子量級(jí)的檢測(cè)技術(shù)與儀器，如原子力顯微鏡(AFM)、掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡(SNOM)、光子掃描隧道顯微鏡(PSTM)等。這些先進(jìn)技術(shù)的應(yīng)用，使人類(lèi)有史以來(lái)第一次能夠觀察到單個(gè)原子在物質(zhì)表面的排列狀態(tài)，并成功實(shí)現(xiàn)了原子搬遷。

但是，這些儀器只是“觀察”到分子的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，沒(méi)有量的概念。在計(jì)量學(xué)實(shí)際應(yīng)用中，還必須解決溯源問(wèn)題，建立計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，即需要提供一種可溯源的、具有納米量級(jí)精度的長(zhǎng)度測(cè)量手段。上世紀(jì)九十年代以來(lái)，各國(guó)科學(xué)家對(duì)此進(jìn)行了大量研究。中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院與德國(guó)PDB合作研制了可自校準(zhǔn)和實(shí)現(xiàn)絕對(duì)測(cè)量的原子力顯微鏡、差拍F-B干涉儀等，解決了單維尺寸的溯源和測(cè)量問(wèn)題。1994年美國(guó)NIST研制成功第一臺(tái)三維分子測(cè)量機(jī)(MolecularMeasuringMachine)，它實(shí)際是一臺(tái)超高精度的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，測(cè)量范圍為50mm50mm12mm，空間測(cè)量不確定度為1nm。該測(cè)量機(jī)采用能夠溯源的超高分辨率外差激光干涉儀作為測(cè)量系統(tǒng)，干涉儀采用光學(xué)8倍頻和相位100細(xì)分，使分辨率達(dá)到0.075nm。分子測(cè)量機(jī)的探針?lè)譃閮煞N：低分辨率測(cè)量時(shí)采用共焦光學(xué)顯微鏡;高分辨率測(cè)量時(shí)采用隧道顯微鏡或原子力顯微鏡。

分子測(cè)量機(jī)不但解決了計(jì)量溯源問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了真正意義的納米測(cè)量，而且能夠操作一簇分子和原子(甚至單個(gè)原子)，可應(yīng)用于微型機(jī)械、納米管、納米材料處理等技術(shù)領(lǐng)域，是納米科技研究和應(yīng)用不可缺少的重要手段。

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